1、機械泵故障及解決

（1）機械泵不啟動(dòng)。檢查項目有：電源電壓是否畸形，電門(mén)是否翻開(kāi)，繞組是否斷路或接地，電機是否過(guò)熱（泵結冰后是否能啟動(dòng)）。

（2）機械泵異常噪音。檢查油位是否適合，油質(zhì)是否變壞，油溫是否＜10℃，油霧過(guò)濾器的入口有無(wú)氣體排出（若無(wú)氣體排出，更替油霧過(guò)濾器）。

2、分子泵故障及解決

（1）開(kāi)機2min后壓力批示燈不亮。此時(shí)候分子泵未轉動(dòng)，即分子泵出口壓力未到設定值或未檢測到壓力（通常壓力應＜10-3MPa，壓力過(guò)高分子泵將無(wú)奈啟動(dòng)）。因而，重要審查招致壓力過(guò)高的成分。審查的名目有：PI1真空規管是否有問(wèn)題，分子泵入口是否翻開(kāi)，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動(dòng)，是否達到真空度。

（2）分子泵減速批示燈不亮。CD2通路板上的保險絲燒斷，更替保險絲或審查是否有短路景象。

（3）分子泵故障燈亮。審查CD2通路板設置電門(mén)是否在于R地位，此時(shí)無(wú)須在N地位。審查風(fēng)扇是否停留，那末風(fēng)扇畸形，請和廠(chǎng)家聯(lián)絡(luò )。

3、質(zhì)譜室故障

（1）燈絲指示燈不亮。檢查燈絲開(kāi)關(guān)鍵是否處于關(guān)閉位置（ 再按一下） ，檢查I/O 短接插頭是否儀器后面的接口。

（2）燈絲指示燈閃爍。用萬(wàn)用表檢查質(zhì)譜室航空插座1 和5 接線(xiàn)柱是否開(kāi)路，若開(kāi)路，更換燈絲；若不開(kāi)路，檢查接線(xiàn)柱6是否和其他接頭導通，消除短路現象。

（3）遙控面板無(wú)壓力批示。檢查PI3規管是否有問(wèn)題。

（4）當檢漏結束時(shí)壓力不上升。檢查通路板PO318保險絲是否有問(wèn)題。

（5）檢漏口壓力＞0.01MPa。機械泵油失效或PI3規管壞。

4、檢測結束時(shí)涌現的故障

（1） 檢漏鍵無(wú)效（ 綠色指示燈亮） ：檢查燈絲是否啟動(dòng)。如果燈絲沒(méi)有啟動(dòng)或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒(méi)有反應。

（2） 檢漏鍵無(wú)效（ 指示燈不亮） 。I/O 短接插頭未插入儀器后面插座。如果I/O 短接插頭未插入儀器后面插座，這時(shí)檢漏儀將接受I/O 口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無(wú)效。

5、主動(dòng)校準終了時(shí)涌現的故障

主動(dòng)校準挫?。ㄕ娼z亮）白色校準燈亮。率先審查主動(dòng)校準設置，電門(mén)S1是否在于OFF地位，所設置的漏率值和規范漏孔值是否統一。熱度傳感器是否接上；其次是審查銳敏度（那末用內部校準漏孔審查預示值和理論值統一，儀器也可運用），蕩滌質(zhì)譜室。5、自動(dòng)校準結束時(shí)出現的故障

自動(dòng)校準失?。?燈絲亮） 紅色校準燈亮。首先檢查自動(dòng)校準設置，開(kāi)關(guān)S1 是否處于OFF 位置，所設置的漏率值和標準漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上；其次是檢查靈敏度（ 如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實(shí)際值一致，儀器也可使用） ，清洗質(zhì)譜室。

6、檢漏時(shí)出現的故障

（1） 不向細檢方式轉換，檢漏口壓力＜2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說(shuō)明檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開(kāi)關(guān)切換到自動(dòng)轉換狀態(tài)。

（2） 靈敏度低。檢查三極規所測壓力， 等到質(zhì)譜室壓力＜10-6MPa 時(shí)再檢漏；如果壓力達到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。

（3） 氦本底太高。檢查機械泵油是否失效（ 泵油長(cháng)期使用變質(zhì)會(huì )吸附較多的氦氣，導致氦污染） ，檢查儀器系統是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規上壓力是否達到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問(wèn)題，如果車(chē)間內有多臺檢漏儀，且氦氣的使用量較大時(shí)，車(chē)間通風(fēng)不好時(shí)；或者車(chē)間通風(fēng)良好，但潔凈廠(chǎng)房多采用上送風(fēng)方式，氣流方向是自上而下，由于氦氣分子量較小，向上擴散，致使氦氣擴散慢，也會(huì )導致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口（ 通常通大氣） 處，安裝一個(gè)幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環(huán)境的氦污染。

（4） 通常車(chē)間檢漏生產(chǎn)之前，會(huì )拿樣件試檢漏（ 此樣件通常是生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢品，漏率接近設定漏率） ，會(huì )發(fā)現漏的樣件不漏的現象。這是因為漏的樣件本身漏率較小，經(jīng)過(guò)多次檢漏后，微孔被灰塵堵塞而不漏了。一般不要完全相信漏件，漏件多次使用后就不要使用了。

（5） 工裝設計不合理導致檢漏通不過(guò)。初檢時(shí)工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過(guò)；加死堵檢漏儀不漏，工作正常。這是因為工裝設計不合理所致，比如工裝結構不合理，內表面太粗糙，導致過(guò)多的氦氣殘留；或者密封設計不合理導致密封不可靠（ 由于工裝設計人員對專(zhuān)業(yè)真空設計不熟悉） 。

（6） 操作不合理導致故障。如工作中，有一個(gè)大漏的工件，由于操作人員判斷錯誤，不認為工件漏，而去檢查工裝的連接或者檢漏儀，多次對這一工件檢漏。這樣就會(huì )發(fā)現，所有工件都不過(guò)。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后，有大量的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決的辦法是，清理質(zhì)譜室，反復吸氣排氣。